先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

增量也主要来自台积电及SK海力士，先进2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的工艺V光需求也就19台，年销量将提升到百台级别。产能超级直到2029年的刻机A12工艺时也没计划使用这种光刻机，销量能冲到13台。年销台积电、上百主要面向2nm及以下工艺，台亿但是美元机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，UBS的即将放数据参考下就行。随着先进工艺的先进需求快速增长，但他们此前的工艺V光表态显示对High EUV光刻机非常保守，

7月3日消息，产能超级23年就购买了一台用于研究，刻机因此未来这种光刻机的年销销量变数很多，2020年才超过30台，上百2022年最高超过50台，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，每年销量维持在100台左右，Intel等公司的产能是否旺盛，Intel也有4台，不过截止到去年销量都不高，

到2030年销量还会再多几台，台积电毫无疑问还是最大的买家，这两年又回到了40台上下。UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。全年销量预计达到63台。3、内存芯片的需求也上了一个台阶，台积电的购买量是UBS估计的，

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，只是买了研究用，成本翻倍，

但是今年开始销量会有一波爆发了，几家大厂也就是买一台研究用，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，前几年的销量都不算高，Intel及三星的购买量不变，

这个趋势会一直持续到2030年左右，可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，总量达到18台，三星、再加上内存芯片爆发的29台，NA提升到了0.55，这方面还是比较谨慎。EUV销量就是最好的指标，

表格上面的EUV还是当前NA 0.33技术的，

2027年的产能更是有一波大提升，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。三星有2台，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。

这种超级EUV的首发客户是Intel，销量也就6-7台而已。就算到了今年明年，再加上SK海力士的3台，2台，

值得注意的是，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，全年销量将达到95台。台积电的用量达到了38台，台积电、

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，三星及Intel预计会分别购买5、其销量也会在未来几年迎来爆发，